戸田テクノロジーサービス株式会社

米国アクセリス社製半導体製造装置（Asher、Photosabiliizer、RTP）の輸入販売、メンテナンスを行っている事業部です。マシンの保守点検はもとより、最新鋭ウェハライン新規装置納入・立ち上げなど、お客様へのスムーズな装置導入と安定稼動を支えます。お客様のニーズに的確に応え、工場サイドへ伝達する。その総合的な技術力には定評があります。

（*1）Semiconductor Production Equipment、つまり半導体製造装置の略

半導体装置の輸入販売、導入、構築、サポート、メンテナンス業務

[対象装置]

・Curing ・Rapid Thermal Process ・Cleaning ・Ion Implantation
・Coat/Developer ・Etching System ・Wafer Tester